高純度炭酸ガス
半導体製造プロセスで必要な高品質な高純度炭酸ガス
半導体
- 静電防止、超臨界洗浄
工業
- 分析用
製品概要・特徴
STK-Four-NINE
| 純度 | 99.990vol.％以上 |
|---|---|
| 水分 | 0.005vol.％以下 |
| 全硫黄分 | 0.03wt.ppm以下 |
| H2 | 0.010vol.％以下 |
| N2 | 0.010vol.％以下 |
| O2 | 0.010vol.％以下 |
| Ar | 0.010vol.％以下 |
STK-Five-NINE
| 純度 | 99.9990vol.％以上 |
|---|---|
| 水分 | 0.0010vol.％以下 |
| 炭化水素分 | 1vol.ppm以下 |
| 全硫黄分 | 0.03wt.ppm以下 |
| H2 | 0.0010vol.％以下 |
| N2 | 0.0010vol.％以下 |
| O2 | 0.0010vol.％以下 |
| Ar | 0.0010vol.％以下 |
用途
静電防止、超臨界洗浄、分析
仕様
荷姿：STK-Four-NINE 40L容器30kg充填、STK-Five-NINE 40L容器25kg充填 他
取り扱いおよび保管上の注意事項
-
容器を倒したりして衝撃を与えないで下さい。
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容器は直射日光を避け、日陰に保存して下さい。
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使用の有無に限らず容器は1年以内に返却してください。
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容器の長期滞留は、重大な事故につながる恐れがございます。
製品に関するお問い合わせ
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